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激光幹涉儀

技術參數：

系統精度：±0.5ppm（0～40 ℃整個工作環境範圍）

激光穩頻精度：±0.05ppm

分辨率：0.001um

測量速度：4.0m/sec

采樣頻率：50KHz

測量範圍：0-80metres

預熱時間：～6分鍾

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